Кафедра физики полупроводников открыта на физическом факультете Томского государственного университета (ТГУ) в 1991 г. Кафедра готовит специалистов (теоретиков и экспериментаторов) по актуальным направлениям современной физики полупроводников.
Развитие физики и техники полупроводников в Томске связано с именем профессора ТГУ Преснова Виктора Алексеевича. По его инициативе в 50-е годы, когда в мире создавалась полупроводниковая электроника, аналогичные работы были начаты в Томске. Были организованы лаборатория полупроводников в СФТИ при ТГУ (1954 г.), а затем НИИ полупроводниковых приборов (НИИПП) М инистерства электронной промышленности СССР (1964 г.), начата подготовка специалистов по электронике, химии и теории полупроводников в ТГУ (на радиофизическом, химическом и физическом факультетах соответственно). Таким образом, Томск оказался первым сибирским городом, где начала развиваться современная физика полупроводников и ее приложение к технике.
За прошедшие годы появились новые тенденции в физике и технологии полупроводников. Они связаны с уменьшением размеров элементов интегральных схем до нанометровых, с новыми областями использования полупроводников (медицина, экология, космическая связь), с принципиально новыми способами формирования материалов путем присоединения одиночных атомов, моноатомных слоев и встраивания полиатомных кластеров в объем полупроводника. Новый подход требует теоретического осмысления, создания моделей, понимания физики процессов в таких структурах и разработки новых технологий, в том числе и таких экзотических, как использование космического вакуума для создания материалов. Естественно, что решение таких задач требует подготовки специалистов нового уровня, имеющих широкий научный кругозор, глубокие знания в смежных областях науки и техники, серьезную теоретическую подготовку, свободно владеющих компьютерными методами для теоретических расчетов и моделировании эксперимента. Необходимую базовую подготовку в этом направлении обеспечивает Физический факультет ТГУ . В 1983 году на факультете в рамках кафедры физики твердого тела была организована специализация по физике полупроводников, которая в 1991 году выделилась в самостоятельную кафедру физики полупроводников.